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LAC系列
高精度激光自准直仪
HIGH PRECISION LASER AUTOCOLLIMATOR
LAC激光自准直仪(Laser Autocollimator)以单色激光为光源的非接触式小角度测量仪器，利用激光固有的优良定向性和微小光斑的特性来测量平台的直线度、平面度和光学元件的角精度、侧垂、平行度，尤其是对小面积产品测量具有更强的操作方便性。也可以用于角度测量，装配定位，设备稳定度(温度或振动影响)的监测等等。
其工作原理如下图所示，是利用准直激光束照射被测靶面，经反射后成像在高精度CCD上。测量软件会计算反射角度和基准面间夹角，并直接显示出来。可以通过选择不同的光阑孔来变化探测光斑大小，以适应微小面积产品的探测(最小可达1mm)。对于多面反射，软件可以对屏幕上多个成像点，分别测量角度值，特别适用于晶元装配等多个光学平面的精密定位。